潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，潔凈室使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱(chēng)之為潔凈室。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵，而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微，但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言，哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響，所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上，無(wú)塵是必然的要求。
潔凈室狀態(tài)分為以下三種：空態(tài)：已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是，在設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員操作的設(shè)備。靜態(tài)：各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng)，可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施)，但是設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員。動(dòng)態(tài)：處于正常使用的潔凈室，服務(wù)功能完善，有設(shè)備和人員；如果需要，可從事正常的工作。在潔凈室內(nèi)，從送風(fēng)口到回風(fēng)口，氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒(méi)有什么變化，加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和高效過(guò)濾器的均壓均流作用，全室斷面上的流速比較均勻，而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行，沒(méi)有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點(diǎn)。
在潔凈室中進(jìn)行干燥是一件非常棘手的事情。因?yàn)闈崈羰抑杏兄T多的要求：應(yīng)減少多余的管道或者供應(yīng)通道，將新鮮空氣供氣管道的數(shù)量到比較低程度，干燥過(guò)程越快越好，干燥時(shí)的能源消耗越少越好；并盡可能地不在潔凈室內(nèi)交換空氣，以避免影響潔凈室的潔凈度。同時(shí)，鑒于企業(yè)生產(chǎn)廠房的面積有限，干燥機(jī)的占地面積同樣越小越好。吸收了水分的潮濕空氣被輸入潔凈室中烘干，干燥機(jī)的熱泵會(huì)抽取空氣中的水分。在熱泵的作用下，空氣中的潮氣遇冷凝結(jié)成水，從而排出干燥機(jī)外。除此之外，冷卻了的空氣再次被加熱并送去干燥待干燥的物體。整個(gè)干燥過(guò)程都是在一個(gè)封閉的循環(huán)過(guò)程中完成的，因此不會(huì)受到外部環(huán)境的影響。重要的是，生產(chǎn)環(huán)境和潔凈室環(huán)境也不會(huì)受到干燥工藝過(guò)程的影響。在單向流潔凈室內(nèi)，干凈氣流不是一股或幾股，而是充滿(mǎn)全室斷面，所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用，而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至室外，達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。通過(guò)上面分析，可以認(rèn)為保證單向流潔凈室特性(高潔凈度和快速自?xún)艋謴?fù)能力)的重要先決條件有兩個(gè)：①潔凈室來(lái)流的潔凈度；②潔凈室來(lái)流的活塞流情況；根據(jù)流體力學(xué)原理，來(lái)流條件對(duì)以后的流動(dòng)狀況將有直接的重要影響，潔凈室送風(fēng)面出口氣流也就是工作區(qū)的來(lái)流。上一個(gè)：模塊化自動(dòng)化可移動(dòng)GMP潔凈室
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